Mit der Serie C32 bietet Epcos Drucksensoren in Chiptechnologie. Sie messen 1,6×1,6mm² und sind für Druckbereiche von 1 bis 40bar ausgelegt. Damit eignen sie sich für Applikationen in der Automobil-, Industrie- und Medizin-Elektronik. Die typische Nichtliniarität der C32-Sensoren liegt bei 0,3% FS. Der Chip zeigt eine Zyklenbeständigkeit mit Driften von 0,1% FS unter Temperaturbeanspruchung. Die Chips werden mit Bondpads ausgestattet, die über räumlich abgesetzte Testpad-Strukturen für Waferprober verfügen. Die Variante bietet sowohl auf der Ober- als auch auf der Chipunterseite die Möglichkeit eines Glas-Prepackages auf Chipebene. Das Glaspackage auf der Unterseite ermöglicht die Weiterverarbeitung des Chips mit Bond- und Klebetechniken für Absolut- und Differenzdruckanwendungen. Für Absolutdruckmessungen wird das Referenzvolumen durch einen zusätzlichen Glasgegenkörper auf der Chipoberseite ausgebildet. Absolutdruckmessungen werden so auch in nicht aggressiven Flüssigkeiten und Gasen möglich. HMI-Stand: Halle 12 Stand D29
Epcos AG
