Der MCS-Kreuztisch miCos vereint hohe Führungs- und Positioniergenauigkeit mit Traglasten bis 20kg. Die hohe Belastbarkeit ermöglicht die Montage weiterer Achsen auf der Plattform. Mit einem optional erhältlichen Linearencoder, basierend auf einem interferometrischen Wegmesssystem erreicht der Kreuztisch eine Auflösung von 5nm bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,2µm und einer Positioniergenauigkeit von 3µm auf den gesamten Stellweg von 102mm je Achse. Geringe Geradheits- und Ebenheitsabweichungen in der XY-Bewegungsebene von unter 2µm sprechen für die hohe Präzision des Systems.
PI Physik Instrumente GmbH & Co. KG
