Robuste Oberflächensensoren

Polytec hat sein Produktportfolio zur Oberflächenmessung durch Punktsensoren der TMS TopSens und TMS TopLine-Serien erweitert. Die Technologie der chromatisch konfokalen Sensoren ermöglicht eine schnelle Charakterisierung von Oberflächen und die Bestimmung der Mikro/Nanotopographie, optische Rauheitsbestimmungen sowie die Dickenmessung von transparenten Proben. Da die Messköpfe keine bewegten Teile enthalten, sind sie robust und wartungsarm. Durch die Punktsensoren können Anwendungen im Bereich der Elektronik und Mikroelektronik, Halbleiter, Automotive und Mikromechanik sowie der Optik-Industrie applikationsspezifisch umgesetzt werden. Die TopSens Sensoren erfüllen die ISO25178-Norm und können Rauheiten bis zu wenigen Nanometern messen. Rauheitsprofile lassen sich laut Anbieter schneller als mit taktiler Sensorik und ohne Beeinflussung der Oberfläche erzeugen. Das Messprinzip des chromatisch konfokalen Sensors ermöglicht Dickenmessungen an transparenten Materialien mit hoher Genauigkeit. In Kombination mit 3D-Scannern ermöglichen die Punktsensoren mikro-topografische 2D- und 3D-Messungen an komplexen Strukturen mit Submikron-Genauigkeit.